先進機器材料関連事業において、半導体・自動車・医療用機器・パネル・産業用ロボット等、これらの産業にとって必要不可欠な高品質で付加価値の高い製造設備や測定検査機器・高性能素材を提供し続けています。
これらの製品により、製造プロセスの効率化と精度向上に貢献し、産業が求める高度な技術的要件に対応します。
さらに、環境負荷を軽減し、持続可能な製品開発をサポートするための革新を追求し、お客様と共に未来を創るパートナーとしての役割を果たしています。
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先進機器事業について
半導体石英向けアニール炉
半導体石英向けアニール炉
製品概要
各種加工物を炉内で加熱処理し組成を変化、安定化させることができます。扉の開閉方式や炉体の縦型、横型などご要望に合わせてサイズ・仕様をカスタマイズできます。
旋盤/管位置決め
小型加工旋盤
製品概要
加工物を設置し回転させながら加工を行うことができます。サイズは小型、中型を用意しています。
管位置決め治具
製品概要
管材を固定し任意の方向に動かすことができます。管材の加工を手助けします。
レーザー顕微鏡
ハイブリッドレーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID⁺
製品概要
多様な測定ニーズに応えられるハイブリッドレーザー顕微鏡です。
複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が、1 台で可能になりました。
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コンフォーカル顕微鏡の特長
① 非接触・非破壊測定
② 高分解能観察
③ 3 次元形状測定
Lasertec OPTELICS HYBRID+
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製品仕様
製品仕様一覧
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製品特長
多様なニーズに応える 6 つの機能
① 白色コンフォーカル
- 高精細 24bit フルカラー観察
- 広視野観察・測定
- ミクロンオーダーの透明膜厚測定
② レーザーコンフォーカル
- 高倍率
- 高分解能
- 高コントラスト
③ 微分干渉観察
- 平坦面上のナノレベルの傷や異物の可視化
④ 垂直式白色干渉測定
- 数ナノレベル形状測定
- ミリオーダーの広視野
⑤ 位相シフト干渉測定
- オングストロームオーダーの形状測定
⑥ 反射分光膜厚測定
- 1μm~mm の膜厚測定
業界最高のスペックでより正確に
- 高速測定
- 高精度測定
自動化への対応でより効率的に
- 自動測定ソフト（LIBRA）
- 自動検査ソフト（LM Inspect）
- 自動搬送システム（W シリーズ）
レーザー加工機
レーザー加工機
真空保管庫
ターゲット真空保管庫
UST-V700B-8
製品概要
スパッタリングターゲット材のユーザー様から「ターゲット材の表面酸化を低減したい」「プレスパッタ時間を短縮したい」「省スペースでターゲット材を一時保管したい」との声を頂き、この製品を考案しました。縦置きすることによりターゲット材8枚を省スペースで保管することができます。
製品仕様
製品特長
- ターゲット材の表面酸化を低減
- プレスパッタ時間を短縮
- プログラム設定にて-85kPa以下で「排気」、-90kPa以上で「休止」を繰り返す
- バルブ開閉は電磁弁
- ドライポンプ排気圧（真空圧）にて保持
- キャスター付きで、装置本体付近まで移動可
- 100V,500W(100Vコンセント)で省エネ設計
- 手動リークバルブより、不活性ガスへの置換が可能
※実用新案登録済
PRODUCT
製品情報
MATERIAL
薄膜マテリアル
QUARTZ
石英加工部品
ADVANCED
先進機器材料
OTHER
その他