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ターゲット材

 
USTRON(アストロン)で取り扱っているターゲット材についてご紹介します。
 
 
スパッタターゲット材は、2008年から製造を開始しました。
各種金属・酸化物・合金の製造と、Bonding加工を行っております。
 
金属材料:Si、Nb、Ti、Cr、Ta、Al・・・
酸化物 :SiO2、Ta2O5、Al2O3、ITO・・・
合金材料:Cu+Ag、Ni+Cr、Ti+Cl・・・
 
その他、円筒状溶射ターゲットは最長3mまでの製作が可能です。
  ターゲット材
 
 
  Nb  
  Nb  
 
  Si  
  Si  
 
  Si-Al回転ターゲット  
  Si-Al回転ターゲット  
 
  Ti円筒ターゲット  
  Ti円筒ターゲット  

金属材料

製品名 元素記号 密度 融点 Risk and Safety Indication
Aluminum Al 2.702 660 CAS No.7429-90-5
Chromium Cr 7.19 1857 CAS No.7440-47-3
Copper Cu 8.96 1084.6 CAS No.7440-50-8 | R48 / 20 / 22
Iron Fe 7.874 1535 CAS No.7439-89-6 | R48 / 20 / 22
Hafnium Hf 13.31 2227 CAS No.7440-58-6 | S3 / 14
Molybdenum Mo 10.22 2617 CAS No.7439-98-7
Niobium Nb 8.57 2460 CAS No.7440-3-1
Momocrystaline silicon Si 2.33 1410 CAS No.7440-21-3
Tantalum Ta 16.65 2990 CAS No.7440-25-7
Titanium Ti 4.5 1660 CAS No.7440-32-6 | S3 / 14
Zirconim Zr 6.51 1852 CAS No.7440-67-7
 
 

合金材料

製品名 元素記号 Risk and Safety Indication
Aluminum+Copper Al+Cu CAS No.7429-90-5 / 7440-50-8 | R48 / 20 / 22
Aluminum+Silicon Al+Si CAS No.7429-90-5 / 7440-21-3
Chromium+Silicon Cr+Si CAS No.7440-47-3 / 7440-21-3
Copper+Nickel Cu+Ni CAS No.7440-50-8 / 7440-02-0 | R48 / 20 / 22
Copper+Zinc Cu+Zn CAS No.7440-50-8 / 7440-66-6 | R48 / 20 / 22
Nickel+Chromium Ni+Cr CAS No.7440-02-0 / 7440-47-3
Titanium+Aluminum Ti+Al CAS No.7440-32-6 / 7440-90-5
Titanium+Chromium Ti+Cr CAS No.7440-32-6 / 7440-47-3
Titanium+Copper Ti+Cu CAS No.7440-32-6 / 7440-50-8
Titanium+Nickel Ti+Ni CAS No.7440-32-6 / 7440-02-0
Titanium+Silicon Ti+Si CAS No.7440-32-6 / 7440-21-3
Zirconim+Aluminum Zr+Al CAS No.7440-67-7 / 7440-90-5
Zirconim+Hafnium Zr+Hf CAS No.7440-67-7 / 7440-58-6
 
 

酸化物

製品名 元素記号 密度 融点 Risk and Safety Indication
Aluminum oxide Al2O3 3.98 2020 CAS No.1344-28-1
Hafnium oxide HfO2 9.68 2812 CAS No.12055-23-1
Columbium pentoxide Nb2O5 4.47 1530 CAS No.1313-96-8
Silicon deoxide SiO2 2.1 1713 CAS No.7631-86-9
Stannic oxide SnO2 6.95 1630 CAS No.18282-10-5
Tantalum pentoxide Ta2O5 8.74 1800 CAS No.1314-61-0
Titanium oxide TiOX 4.29 1850
Zirconim deoxide ZrO2 5.49 2715 CAS No.1314-23-4
 

真空蒸着加工について

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