標準仕様で最大4億点、オプション仕様^*1の場合は最大20億点の超音波での測定データを保存・処理できるようになりました。 これによりFineSAT Ⅲでは8インチのウェーハを1回の測定で画像化する場合の最小測定ピッチは40 µmでしたが、 FineSAT Ⅴでは標準仕様で20 µm、オプション仕様の場合は10 µm以下の微小なピッチでデータを取得して画像化できるため、 大きいサンプルでの詳細測定が１回の走査で可能になりました。また高精度な解析・評価を支援する多種な画像表示が可能です。

ウェーハなどの大きいサンプルの測定では、スキャナの走査速度が測定時間に大きく影響します。 FineSAT Ⅴは、高速スキャナの採用に加えて超音波パルスの発生周期を1/2にすることで測定時間は25%^*2短縮します。 加減速時を除いたスキャナの最大走査速度2,000mm/s^*3に向上、新設計の高剛性フレームによって装置の振動を抑制するため、高速走査でも鮮明な画像が得られます。

1. クリーンルームでの使用を考慮してスキャナの扉は跳ね上げ方式を採用すると共に、扉のオプションとして制電タイプの透明パネルも用意し、防じん性を高めています。
2. サンプルのセッティングやメンテナンス時は、ステージ・フレーム脱着がスムースに行えるように、前面の下部窓は180°下に回転させて全開できます。
3. 本体操作部は制電パネルを採用し、オペレータの静電気による影響を抑制します。
4. 本体電源ONのみでリフタ昇降操作可能。FineSATソフトウェアを起動することなく動作します。
5. 手元スイッチボックスを標準装備しています。従来、スキャナ内にあるプローブを動かす場合は、 モニタ画面にあるボタンをマウス操作するかキーボードを操作してプローブとモニタまたはキーボードを交互に目線移動させながら行っていました。 手元スイッチボックスを使えば目線を離すことなくプローブ位置の微調整ができます。
6. モニタ画面サイズを23インチにして、データ解析などの視認性や作業性を大幅にアップ。
   オプションでツインモニタにできます。

超音波の測定時間単位を従来比1/4に設定できるため、深さ方向の分解能が４倍になりました。 微細・多層化が進む電子デバイスの薄い層内の欠陥や層間剥離の検出と、深さ位置情報の精度が向上します。

焦点位置を連続的に変えて走査する機能で、1回の測定で異なる複数の深さに焦点の合った画像を得ることが可能なため、欠陥の見落としを防止します。

マルチゲートで測定した複数の異なる情報の画像は、サムネイルを生成して選択しやすい一覧表示にすることができます。
サムネイル画像は個別にカラーパレットを変更できます。

反射法/透過法同時測定で取得した2画像を重ね合わせて表示することが可能です。また、表示画像は透過割合を調整できるため、判断しやすい画像に設定できます。

超音波信号の劣化を補い画像をより鮮明にする画像鮮鋭化ソフトや、収録波形データを測定後に測定画像と波形に解析できるボリュームイメージソフト、 ボイド(欠陥)表示から良否判定・統計処理するボイドビューワソフトなどの高度な解析ソフトとの組み合わせが可能です。