当社が設立当初から取り組んでいる石英ガラス分野として各種石英精密加工製品を提供しています。切断・溝切・研磨・研削・穴あけ・溶接・火加工などさまざまな石英ガラス加工技術を駆使して、お客様のニーズに応じた高品質な石英ガラス製品を提供しています。
私たちの石英ガラスは、優れた透明性と耐熱性を兼ね備え、半導体をはじめ幅広い産業分野での用途に適しています。
石英ガラス加工ならUSTRONへご相談ください。
加工対応領域
純度：最大99.999%
長方形石英板：最大2050mm*1000mm
円形石英板：直径最大Φ1300mm
管：直径最大600mm，長さ：最大4m
ボート：最長で2.5m
対応ウェハーサイズ：2インチから12インチまで
product
石英加工部品事業について
半導体石英加工製品
CVD工程や酸化・拡散工程に必要なチューブやボートは、高耐熱、高純度、パーティクル対策が求められています。当社は最新の測定技術と加工技術でこれらの要望に応え、大口径石英ガラス部材も提供しています。
フォトマスク形成プロセス用製品
高精度の研磨装置によって表面を研磨。最先端の欠陥検査装置によって高い品質を維持しています。
フォトマスク用合成石英
成膜プロセス用製品
石英ボートは指定の装置に合わせたサイズに調整してサイズ変更可能。ウエハーを固定する溝は熟練の職人による高い技術力によって加工されています。
ウエハー用石英ボート
ウエハー用石英ボート
エッチングプロセス用製品
ウエハーへの悪影響を最小限にするため極めて高い純度で製造されています。
Top Ring
石英プレート
拡散プロセス用製品
CVD工程や拡散工程に不可欠な高品質な製品を製造しています。また大型のサイズにも対応可能です
プロセスチューブ
断熱筒
石英ガラス素材
Quartz Glass Materials
化学成分・諸特性
合成石英の基礎知識
溶融と合成の違い
使われる業界や用途
石英ガラス加工
Quartz Glass Processing
石英ガラスの特徴
ガラス加工の種類
加工の難しさ
石英ガラス製品
Quartz Glass Products
フォトマスク用合成石英
Photomask Quartz
太陽エネルギー関連向け石英
Solar Quartz
半導体ウエハー用石英製品
Wafer Quartz
金属精製向け石英製品
Quartz for Metal Refining
PRODUCT
製品情報
MATERIAL
薄膜マテリアル
QUARTZ
石英加工部品
ADVANCED
先進機器材料
OTHER
その他