半導体用石英製品
半導体製造工程のCVD工程や酸化・拡散工程に欠かせないチューブ、ボート、ﾃﾞﾊﾞｲｽなど、日々高品質化しています。 当社は、関係会社の安定した石英素材の供給ルート、最新悦の加工設備と高度な加工技術で様々な要望に応えています。
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| Top Ring | Focus Ring |
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| 石英プレート | Flange support |
ウエハー用石英ボート
半導体製造プロセス反応炉内でウエハー保持に使用される石英ボート。（横型、縦型）
石英炉心管
