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スパッタリングターゲット材、蒸着材料ならUSTRON(アストロン)

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石英ガラス加工ならUSTRON

切断・溝切・研磨・研削・穴あけ・溶接・火加工などさまざまな石英ガラス加工技術を駆使して、お客様のニーズに応じた高品質な石英ガラス製品を提供しています。私たちの石英ガラスは、優れた透明性と耐熱性を兼ね備え、半導体をはじめ幅広い産業分野での用途に適しています。石英ガラス加工ならUSTRONへご相談ください。

 

加工対応領域

純度: 最大99.999%

長方形石英板: 最大2050mm*1000mm

円形石英板: 直径最大Φ1300mm

管: 直径最大600mm,長さ: 最大4m

ボート:最長で2.5m
対応ウェハーサイズ: 
2インチから12インチまで

 

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石英ガラスの特徴

耐熱性

石英ガラスは1000℃までの高温に耐える優れた耐熱性を誇ります。この性質により、熱処理が必要な半導体製造など高温環境における安定な使用が可能です。急激な冷却にも強く、炉や窯などの覗き窓としても安全に利用されています。

 

化学的耐食性

石英ガラスは化学的に非常に安定であり、耐薬品性に優れます。これは様々な溶剤や酸溶液の蒸留、物質の溶解・洗浄容器として最適です。ただし、フッ酸、リン酸、アルカリ・アルカリ金属化合物の溶液や雰囲気では、石英ガラスのエッチングや表面失透が起こり得るため、長時間の使用には注意が必要です。

 

光の透過性

石英ガラスはSiO2からなり、極めて純粋で不純物をほとんど含まず透過率が高いのが特徴です。この性質により、可視光だけでなく赤外線や紫外線も通過し、優れた光学特性を持ちます。そのため、光学機器や液晶ディスプレイ、科学実験装置など広範な光学用途に幅広く利用されています。

 

電気絶縁性

石英ガラスは優れた電気絶縁体です。このため、電子機器や光学機器の製造など、さまざまな電気的な用途に適しています。

 

低熱膨張性

石英ガラスは、極めて低い熱膨張係数を持っています。急激な温度変化に対しても比較的安定しています。これは、温度変化が大きい環境で使用される場合に重要です。

 

ガラス加工の種類

USTRONではさまざまな加工を駆使し、目的のガラス製品を作り上げることが可能です。

 

切断・溝切り

石英ガラスは硬く、通常の工具では難しいため、ダイヤモンドカッターやホイールを使用します。

 

研磨

石英ガラスは、光学性能向上、表面平滑化、寸法制御、接合処理の準備などの目的で研磨を行います。

 

研削

石英ガラスの精度の高い形状の仕上げのためには、研削加工が必要となります。

 

穴あけ

石英ガラスにも金属部品同様に、穴、溝、ザグリ加工が可能です。

 

溶接

石英ガラスも溶接や接合などの技術を用い部品を組み立て、製品を作り上げることができます

 

火加工

石英ガラス特有の加工方法として、透明仕上げを行うためにバーナーでの火加工があります。

 

石英ガラスの加工の難しさ

硬度と脆弱性

ガラスは硬いが壊れやすい、硬脆材料と呼ばれる材質です。これは、主成分である酸化ケイ素の結晶性に起因します。石英ガラスも同様に硬く脆いため、金属と比較して加工が難しいと言われています。

 

厳しい要求精度

理化学製品やランプ、レンズなどの製品は、キズによって光の透過性が損なわれたり、破損する危険があります。そのため、石英ガラス製品は使用環境に応じて要求精度が厳しくなり、高精度な加工が必須となります。

 

高温下での失透

1200℃以上の高温下での長時間使用は、透過性が失われる「失透」現象を引き起こします。また、石英ガラス表面に付着した不純物が加熱されると同様に失透が発生します。従って、石英ガラスの加工では適切な温度管理が欠かせません。

 

表面仕上げの難しさ

石英ガラスの表面を滑らかに仕上げることは困難であり、微細な傷や凹凸が目立ちやすいです。特に光学機器や精密機器の製造では、高い表面品質と内部の歪みの無さが求められるため、精密な表面処理が必要です。また、内部に脈理があると、透過度に悪影響を及ぼします。そのため、検査では表面だけではなく内部の脈理も注意が必要です。

石英ガラスで作られる製品

石英るつぼ

 石英管
      石英るつぼ        石英管
石英るつぼ  石英管
         Top Ring        Focus Ring
 石英るつぼ  石英管
       石英プレート        Flange support

 

石英ボート

半導体製造プロセス反応炉内でウエハー保持に使用される石英ボート。(横型、縦型)

石英ボート

石英ガラス加工石英ガラス加

 

炉心管

炉心管

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